製品情報PRODUCTS
フォトマスク関連製品
CD測長装置/ Muetec(独国)社製
- フォトマスク業界の標準設備として数多くの実績を持つ
- 光学式CD測長(透過照明＆反射照明)、旧LWMの新型版
- LED照明のため、長寿命でありランプ交換等数年間不要
- 最小線幅0.36µmまで測定可能。X150UVレンズを使用
マスク用修正装置/COWIN(韓国)社製
- FPD用としてG10まで半導体用として5, 6, 7, 9インチ対応
- ZAP、CVD、ハーフトーンCVDが可能。KrF/ArFに対応
- 0.5um以下の高精細ZAPと密着性高いCVD性能が特長
- AGV/MGVと連動、RSP＋ロボット搭載可能
マスク描画装置/Artfil社製
- DMDを用いLED光源を搭載した高速・高精細描画装置
- 最小線幅0.5um実現し、従来より数倍の高速描画が可能
- CD補正/OPC補正/アライメント機能等を標準装備
- 描画方式はすでに特許を取得、数多くの新技術搭載
マスク座標測定機/Artfil社製
- FPD用及又は半導体用マスクに対応した座標測定装置
- 高精細リニアスケールを採用、環境に強い安定した測長
- ナノメータオーダーの再現性と高速測定を実現
- AGV/MGVと連動、RSP＋ロボット搭載可能
プロセス関連製品
コータ装置・塗布装置
- フォトマスク用レジストコート向けカスタムメイド装置
- スピン式/スリット式塗布に対応し、枚葉式も対応可能
- FPD用/LSI用マスクに対応、FPD基板やウエハーに対応
- 塗布性能は1％以下の均一性を実現し、多くの実績を持つ
ウェットプロセス機器(ベーク・現像・エッチング・剥離等)
- EBR/ベーク/真空乾燥等と連動したプロセスライン提供
- カスタムメイドで各プロセスを構成した装置群を提供
- 半導体用マスクから液晶用（G８)マスクまで対応可能
- 安定した装置を廉価に提供し、数烏多くの実績を持つ
マスク・基板洗浄装置
- マスクブランクやベアーガラス基板の洗浄に最適
- 半導体用マスクからFPD用のG10マスクまで対応可能
- ブラシ/超音波/薬液洗浄、ディップ/スピン/枚葉式提供
- 液晶用や特殊基板/ガラス材料の特殊対応可能
半導体関連製品
AMCモニター機器/Tricorntech(台湾)社製
- 有機物/無機物の検出、VOC/アミン系/酸系ガス等に対応
- リアルタイムモニター測定にてIn-lineで24H自動運転制御
- マルチチャンネルモニター機器やモバイル式機器を提供
- 0.1ppbレベルの測定センサーと非放射性コア技術を搭載
FOUP内モニター機器/Tricortech(台湾)社製
- FOUP内AMCをモニター/分析、ウェハーガス汚染分析用
- N2パージにてFOUP内洗浄機能搭載、安定した測定性能
- ロードポートやSECS等通信機能搭載、FOUP管理に最適
- 廉価なコスト、国内にて迅速な技術サポートを提供
ウェハー用マクロ検査装置/MueTec(独国)社製
- 200㎜/300㎜ウェハー量産対応のマクロ検査装置
- ウェハーの表面/裏面を同時に測定可能な光学設計
- 2um分解能で、ブライト/ダークフィールド両方測定可能
- カセット/FOUP対応、独自アライメント機能で高速処理
オーバーレイ測定装置・IR検査装置/MueTec(独国)社製
- MEMS, PD, WLPの内部の重ね合わせ測定装置
- 高精度/高速測定にて６, 8, 12インチ生産ライン向け装置
- CD測長/重ね合わせ測定/IR検査等、1台多機能装置提供
- 数多くの実績を持ち、廉価なコスト、安定した装置提供
FMM(ファインメタルマスク)レーザ修正装置/COWIN(韓国)社製
- O-LED用メタルマスクの加工/検査/ドライ洗浄機能装置
- 高出力レーザとガルバノミラーにて高速加工処理可能
- エマルジョンマスク修正、インクジェット式修正も可能
- 量産用マルチ修正装置は、数多くの実績持ち安定供給
3Dレーザ造形装置/Riton(中国)社製
- 金属/プラスチック/義歯材料等の3次元造形プリンター
- 特に口腔分野に数多くの実績をもつ高性能３Dプリンター
- 造形範囲200㎜□にて、50um以下の精度で造形可能
- 高速処理且つ廉価のコスト/短納期で装置提供
3次元測長装置/TZTEK(中国)社製
- ワークサイズ合わせた各種モデルを選択可能な3次元測長機
- 最大ワークサイズ1600X1200 X250mm。それ以上は特注
- リニアスケール/THKガイドを採用し、0.1umの分解能
- 安定した測定を、短納期・低価格で提供
電子材料(サファイア基板・石英基板)
- サファイア基板のベア/μPSSパターン付基板供給
- サファイア/Siウエハーは、２”、4”、6”、8”供給可能
- 石英材は再生石英含め、要求に合わせて供給可能
- 少量多種の要求、特殊仕様に対応、廉価コストで提供
セキュリティーIP（産業機械・ロボット・ユーティリティー向け）
- 生産設備・ロボット工作機械・ユーティリティーに適用
- 内外部からのサイバー攻撃から機器を完全にプロテクト
- 操作ミス・SWアップデートの安全に実行可能
- 国際的安全基準取得に不可欠なIP技術
レーザ関連装置